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防静电接地工程-上海德拉电子科技 
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| 晶圆盒垫纸-怎么使用 |
晶圆盒垫纸是用于保护半导体晶圆的一种特殊纸张材料，下面是关于晶圆盒垫纸如何使用的步骤：
准备工作：在使用晶圆盒垫纸之前，先确保工作区域干净整洁，并清洁双手，避免引入灰尘和污染物。
打开包装：将晶圆盒垫纸的包装打开，并注意不要碰触垫纸表面，以防止污染。
取出垫纸：使用洁净的手或专用工具，轻轻将一张晶圆盒垫纸从包装中取出。避免过度摩擦或折叠垫纸，以免损坏。
放置垫纸：将取出的晶圆盒垫纸放置在晶圆盒或晶圆容器的底部。确保垫纸完全覆盖底部，并尽量平整展开，以提供均匀的支撑和保护。
放置晶圆：将待处理的晶圆轻轻放置在垫纸上。确保晶圆与垫纸接触的表面是干净的，避免污染。
注意事项：在使用晶圆盒垫纸时，需要注意以下事项：
避免触摸晶圆盒垫纸的非工作区域，以防止污染。
在放置晶圆时，要小心轻柔，避免对晶圆造成损坏。
在更换晶圆时，应及时更换垫纸，确保每次使用都是新的干净垫纸。
使用晶圆盒垫纸可以有效地保护晶圆表面免受污染和损伤，保证工艺的可靠性和产品的质量。具体的使用方法可能因不同的工艺和设备而有所不同，建议根据具体情况参考相关的操作指南或咨询专业人士的建议。 |
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